高精度IGS面板專用過濾器_半導體行業集成氣體輸送與控制系統
SF系列IGS面板專用過濾器、用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統、兼容C型和W型多種密封規格、實現0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。
產品特點
●??整體316L不銹鋼結構
●??小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性
●??耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
●???電解拋光316L不銹鋼外殼
●??安裝與檢修便捷高效
●??采用機械密封、結構上與介質無焊接
應用領域
● ?半導體制造
在半導體制造中，氣體的純凈度直接影響芯片的質量和性能。SF系列IGS面板專用過濾器能夠有效去除氣體中的雜質，確保氣體的高純度，從而提高芯片的良品率和生產效率。
● ?集成氣體輸送與控制系統
該過濾器兼容C型和W型多種密封規格，能夠無縫集成到現有的氣體輸送與控制系統中，實現高效的氣體凈化和輸送。
● ?設備升級與模塊化設計
采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統集成與模塊化設計升級。其緊湊的體型和便捷的安裝維護特性，使其成為設備升級的理想選擇。
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