在半導體制造領域，氣體的純凈度對生產質量起著至關重要的作用。納微米氣體過濾器作為保障氣體純凈的關鍵設備，是半導體生產中不可或缺的一部分。隨著半導體技術向更先進的制程發展，對氣體純凈度的要求越來越高，傳統的過濾器已經難以滿足高純氣體的微粒清除需求。恒歌作為專業的納米微米氣體過濾器生產廠家，憑借深厚的技術積累和豐富的行業經驗，成功攻克了這一難題，為客戶提供了一套定制化的解決方案。
一、客戶面臨的挑戰
在半導體制造過程中，超純氣體的使用極為關鍵，其純凈度直接影響到芯片的質量和性能。客戶在生產中使用的是超高純氣體(UHP)，這種氣體對微粒的敏感度極高，即使是極少量的亞微米級(0.1 – 1μm)微粒也可能導致光刻圖案失真、刻蝕不均勻等生產問題。傳統的過濾器在清除微粒方面存在諸多不足，如過濾效率僅能達到 99.9%，難以滿足半導體行業對超純氣體的凈化要求;壓力損耗普遍>0.5MPa，導致氣體傳輸效率降低;同時，復雜的多層結構設計增加了維護難度與二次污染風險。此外，半導體生產環境涉及等離子體刻蝕、化學氣相沉積(CVD)等高溫高壓工藝，對設備的耐高溫(需持續耐受 200 – 450℃)、耐高壓(工作壓力 5 – 15MPa)、耐腐蝕(抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體)等性能也有嚴格要求，傳統過濾器往往難以適應這種苛刻的工況。客戶急需一款能夠精準清除 UHP 超純氣流微粒、保障生產純凈度的過濾器，以確保生產的順利進行和產品質量的提升。
二、恒歌的定制化解決方案
恒歌針對客戶的特殊需求，為其定制了F型直通式氣體過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)。這款過濾器專為半導體領域設計，具有以下顯著特點：
1. 卓越的微粒過濾性能
TF 系列過濾器采用先進的 316L 不銹鋼粉末燒結濾芯技術，能夠精準攔截超純氣流中的微粒，顆粒攔截效率高達 99.9999999%(9LRV)@30slpm，確保氣體的超高純凈度。其高通量、低阻力的設計，大幅降低了壓力損耗，氦氣驗證泄漏率僅為 2×10?1? cc/min，氦氣測試泄漏率僅為 1×10?1? cc/min，滿足半導體生產對氣體流量和壓力的嚴格要求。
2. 堅固耐用的結構設計
過濾器整體采用頂級 316L 不銹鋼全材打造，結構緊湊輕盈，工作壓力可達 207 bar(3000 psig)，工作溫度范圍為 -28℃ – 482℃，具有超強的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，能夠適應半導體生產中的各種苛刻工況。這種材質不僅能夠有效抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體的侵蝕，還能確保設備在長期使用過程中的穩定性和可靠性。
3. 簡便的安裝與維護
TF 系列過濾器采用 F 型直通式設計，結構緊湊，節省空間，僅需進行氣路對接與螺母緊固，無需焊接，避免了焊接過程中可能產生的污染和風險，確保密封無憂。此外，過濾器的維護也非常方便，更換濾芯簡單快捷，無需拆卸整個設備，大大減少了維護時間和成本。
4. 嚴格的質量控制
恒歌建立了嚴格的生產質量控制體系，對 TF 系列過濾器的生產過程進行全流程質量管控。每一件產品均經過 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試，確保產品的性能和質量達到最高標準。這種嚴格的質量控制措施，為客戶提供了可靠的保障，使客戶能夠放心使用。
三、成功交付與客戶反饋
在恒歌的定制化解決方案下，F型直通式氣體過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)經過多次嚴格的測試和驗證，完全滿足了客戶對超純氣體微粒清除的要求。在某半導體生產線的實際使用過程中，過濾器持續穩定運行 6 個月無性能衰減，晶圓表面缺陷率降低 82%，生產效率提升 35%，產品良品率從 89% 提升至 96%。客戶對恒歌的產品和服務給予了高度評價，認為恒歌的專業技術團隊和定制化解決方案為他們解決了長期困擾的難題，為半導體生產的順利進行提供了有力支持。
恒歌憑借其在納微米氣體過濾器領域的專業技術和豐富經驗，成功為半導體客戶定制了一款能夠精準清除 UHP 超純氣流微粒的 F型直通式過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)。這款過濾器以其卓越的微粒過濾性能、堅固耐用的結構設計、簡便的安裝與維護以及嚴格的質量控制，贏得了客戶的信賴和認可。恒歌將繼續致力于為客戶提供高質量、高性能的氣體過濾解決方案，助力半導體產業的發展。如果您也面臨著類似的氣體微粒污染難題，歡迎與恒歌聯系，我們將為您提供專業的定制化解決方案。
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發布時間 25-04-19